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共查到 9 条国家自然科学基金项目记录
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历年项目分析
项目批准号：51101016
批准年份：2011
学科分类： E.工程与材料科学部
负责人：王庆梅
省份：北京
依托单位：北京科技大学
资助金额：25万元
资助类别：青年科学基金项目
关键词：动力学模型;数值模拟;跨尺度耦合;电沉积
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项目批准号：51071098
批准年份：2010
学科分类： E.工程与材料科学部
负责人：张建民
省份：陕西
依托单位：陕西师范大学
资助金额：40万元
资助类别：面上项目
关键词：铜互连线;计算机模拟;尺寸效应;ULSI;微结构
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AI分析立项选题
项目批准号：90923025
批准年份：2009
学科分类： E.工程与材料科学部
负责人：金洙吉
省份：辽宁
依托单位：大连理工大学
资助金额：50万元
资助类别：重大研究计划
关键词：铜互连层;平坦化;集成电路;电解液
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项目批准号：60876072
批准年份：2008
学科分类： F.信息科学部
负责人：肖夏
省份：天津
依托单位：天津大学
资助金额：32万元
资助类别：面上项目
关键词：表面波；无损表征；ULSI铜；低介电常数介质；布线薄膜；机械特性；粘附性
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项目批准号：60576022
批准年份：2005
学科分类： F.信息科学部
负责人：徐军
省份：辽宁
依托单位：大连理工大学
资助金额：25万元
资助类别：面上项目
关键词：ULSI；低介电常数；CNx薄膜；介电性能
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AI分析立项选题
项目批准号：50032010
批准年份：2000
学科分类： E.工程与材料科学部
负责人：杨德仁
省份：浙江
依托单位：浙江大学
资助金额：130万元
资助类别：重点项目
关键词：微观缺陷.;硅;轻元素杂质.
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ULSI中铜互连线的研究
项目批准号：69936020
批准年份：1999
学科分类： F.信息科学部
负责人：夏洋
省份：北京
依托单位：中国科学院微电子研究所
资助金额：120万元
资助类别：重点项目
关键词：铜布线.互连线.超大规模集成电路
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VLSI／ULSI可靠性的监测与模拟
项目批准号：69576004
批准年份：1995
学科分类： F.信息科学部
负责人：杨谟华
省份：四川
依托单位：电子科技大学
资助金额：12万元
资助类别：面上项目
关键词：VLSI；ULSI；可靠性；监测；模拟
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项目批准号：68876105
批准年份：1988
学科分类： F.信息科学部
负责人：徐岳生
省份：河北
依托单位：河北工业大学
资助金额：4万元
资助类别：面上项目
关键词：引入缺陷以控制缺陷利用缺陷;氧的可控沉淀
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