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超大规模集成电路(ULSI)用硅材料中杂质和缺陷的基础研究

负责人员: 杨德仁

依托单位: 浙江大学

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50032010
超大规模集成电路(ULSI)用硅材料中杂质和缺陷的基础研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 李立本 教授 浙江大学
    2 马向阳 讲师 浙江大学
    3 杨建松 高级工程师 浙江大学
    4 樊瑞新 高级工程师 浙江大学
    5 张锦心 教授 浙江大学
    6 沈益军 工程师 浙江大学
    7 李养贤 中国科学院物理研究所
    8 刘彩池 副教授 河北工业大学
    9 徐进 副教授 厦门大学
    10 李立本 教授 浙江大学
    11 马向阳 讲师 浙江大学
    12 杨建松 高级工程师 浙江大学
    13 樊瑞新 高级工程师 浙江大学
    14 张锦心 教授 浙江大学
    15 沈益军 工程师 浙江大学
    16 李养贤 中国科学院物理研究所
    17 刘彩池 副教授 河北工业大学
    18 徐进 副教授 厦门大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 微观缺陷.
    2
    3 轻元素杂质.
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