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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 韩阶平 | 研究员 | 中国科学院微电子研究所 |
| 2 | 陈宝钦 | 研究员 | 中国科学院微电子研究所 |
| 3 | 田如江 | 副研究员 | 中国科学院微电子研究所 |
| 4 | 申作成 | 副研究员 | 中国科学院微电子研究所 |
| 5 | 欧文 | 副研究员 | 中国科学院微电子研究所 |
| 6 | 王文泉 | 高级工程师 | 中国科学院微电子研究所 |
| 7 | 赵玉印 | 高级工程师 | 中国科学院微电子研究所 |
| 8 | 张国海 | 中国科学院微电子研究所 | |
| 9 | 吴德馨 | 研究员 | 中国科学院微电子研究所 |
以下是从项目中提取的相关关键词，点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析
| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 铜布线.互连线.超大规模集成电路 |
