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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 王辰伟 | 讲师 | 河北工业大学 |
| 2 | 李强 | 河北工业大学 | |
| 3 | 王超 | 河北工业大学 | |
| 4 | 张雪 | 河北工业大学 | |
| 5 | 田源 | 河北工业大学 | |
| 6 | 李越 | 河北工业大学 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 下一代集成电路 | |
| 2 | 铜互连 | |
| 3 | 钌基阻挡层 | |
| 4 | 平坦化 | |
| 5 | 界面腐蚀抑制 | |
| 6 | 机理研究 |
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