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低温等离子体输运过程及其气相沉积的机理研究

负责人员: 刘祖黎

依托单位: 华中科技大学

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19275016
低温等离子体输运过程及其气相沉积的机理研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 魏合林 助教 华中科技大学
    2 刘东辉 助教 华中科技大学
    3 方忠 华中科技大学
    4 罗玉萍 华中科技大学
    5 安忠 华中科技大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 低温等离子体
    2 输运过程
    3 气相沉积
    4 机理研究
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