| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 魏鸿源 | 助理研究员 | 中国科学院半导体研究所 |
| 2 | 李成明 | 中国科学院半导体研究所 | |
| 3 | 焦春美 | 中国科学院高能物理研究所 | |
| 4 | 董向芸 | 工程师 | 中国科学院半导体研究所 |
| 5 | 张晓沛 | 工程师 | 中国科学院半导体研究所 |
| 6 | 刘建明 | 中国科学院半导体研究所 | |
| 7 | 张保利 | 中国科学院半导体研究所 | |
| 8 | 张彪 | 中国科学院半导体研究所 | |
| 9 | 刘长波 | 中国科学院半导体研究所 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 硅基氮化镓 | |
| 2 | 厚膜制备 | |
| 3 | 失配应力调控 | |
| 4 | 机制研究 |