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半导体表面及界面结构缺陷的光学无损检测研究

负责人员: 李增发

依托单位: 南开大学

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69476006
半导体表面及界面结构缺陷的光学无损检测研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 吕福云 副教授 南开大学
    2 李训普 讲师 南开大学
    3 颜彩繁 助理工程师 南开大学
    4 王宏杰 高级工程师 天津市半导体材料厂
    5 张福桢 高级工程师 天津市半导体材料厂
    6 邓江东 南开大学
    7 耿艳香 南开大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 半导体表面
    2 界面结构
    3 缺陷检测
    4 光学无损检测
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