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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 张正选 | 副研究员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 2 | 丁艳芳 | 讲师 | 华东师范大学 |
| 3 | 万青 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 4 | 章宁琳 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 5 | 门传玲 | 副教授 | 上海理工大学 |
| 6 | 沈勤我 | 工程师 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 7 | 张正选 | 副研究员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 8 | 丁艳芳 | 讲师 | 华东师范大学 |
| 9 | 万青 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 10 | 章宁琳 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 11 | 门传玲 | 副教授 | 上海理工大学 |
| 12 | 沈勤我 | 工程师 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 纳米硅 | |
| 2 | 超高真空电子束. |
