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单晶硅微细沟槽织构化表面的微磨削加工理论及实验研究

负责人员: 彭云峰

依托单位: 厦门大学

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50905150
单晶硅微细沟槽织构化表面的微磨削加工理论及实验研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 郭隐彪 教授 厦门大学
    2 王健 研究员 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    3 雷向阳 助理研究员 成都精密光学工程研究中心
    4 朱睿 讲师 厦门大学
    5 谢书童 厦门大学
    6 黄海滨 讲师 厦门理工学院
    7 潘昆 厦门大学
    8 罗玮 厦门大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 微磨削
    2 织构化表面
    3 微细沟槽
    4 织构化加工技术
    5 加工质量
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