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金刚石薄膜的重离子轰击再注入n型掺杂研究

负责人员: 朱沛然

依托单位: 中国科学院物理研究所

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59582009
金刚石薄膜的重离子轰击再注入n型掺杂研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 杨锋 高级工程师 中国科学院物理研究所
    2 江伟林 助理研究员 中国科学院物理研究所
    3 徐天冰 工程师 中国科学院物理研究所
    4 翟永亮 高级实验师 中国科学院物理研究所
    5 于洪伟 实验师 中国科学院物理研究所

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 金刚石薄膜
    2 重离子轰击
    3 n型掺杂

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