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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 杨根庆 | 副研究员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 2 | 王曦 | 研究实习员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 3 | 郑志宏 | 实验师 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 4 | 黄巍 | 研究实习员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 5 | 陈竞 | 研究实习员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 6 | 朱宏 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 离子束 | |
| 2 | 增强沉积 | |
| 3 | 梯度功能材料 | |
| 4 | 性能研究 |
