2025年6月21日，自然科学基金委信息科学部在北京召开国家重大科研仪器研制项目（部门推荐）“半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析系统”结题验收会议。自然科学基金委党组成员、副主任陆建华，自然科学基金委信息科学部主任郝跃、计划与政策局副局长杨列勋，教育部科学技术与信息化司一级巡视员张国辉，北京大学副校长朴世龙出席会议。信息科学部常务副主任刘克主持开幕式，专家组组长、南京大学祝世宁教授主持验收会议，北京科技大学张跃教授、东北师范大学刘益春教授等作为验收专家参加会议。
陆建华副主任在致辞中表示，国家重大科研仪器研制项目面向世界科学前沿和国家重大需求，鼓励和培育原创性重大科研仪器设备研制，为科学研究提供新颖工具，带动学科发展，提升我国科学研究的原始创新能力。仪器项目的最终成果应该是一台完整的新仪器，不能停留在部件或分立系统的阶段。希望专家组在验收过程中，对项目成果的“增量”“变量”和“份量”进行客观评价，从仪器设备核心指标的完成情况、经费使用及档案资料的规范性方面严格把关，高质量完成验收工作。最后，他勉励研究团队以项目结题为新的起点，致力仪器的转化应用。
张国辉巡视员表示，科研仪器是科技创新的“眼”和“手”，是衡量国家技术实力的重要标志。项目团队历经5年艰苦攻关，研制出了新的测量仪器。希望验收专家提出宝贵的意见和建议，助力项目团队以及北京大学更好地建设与运用重大科研仪器，为我国集成电路事业的发展贡献力量。
朴世龙副校长表示，北京大学始终高度重视重大科研仪器研制工作，努力发挥基础学科和有组织科研的优势，积极研制原创性科研仪器与核心部件，学校将不断推动科研仪器的开放共享，携手开展高水平科研攻关，努力培育更多世界领先的科技创新成果。
验收专家认真听取了北京大学黄如教授和王润声教授关于项目完成情况的汇报、项目监理组的监理报告，以及各验收组的技术测试、档案审查和经费核查说明，现场考察了仪器技术指标和运行状况，详细审阅了相关财务与档案材料，经质询和讨论，形成了技术测试、财务验收和档案审查报告，并对下一步工作提出了建设性意见。
教育部科学技术与信息化司有关同志，项目研发、监理及技术指导专家，项目依托单位和自然科学基金委相关工作人员参加会议。