| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 宁兆元 | 教授 | 苏州大学 |
| 2 | 朱爱民 | 副教授 | 大连理工大学 |
| 3 | 朱晓东 | 副教授 | 中国科学技术大学 |
| 4 | 辛煜 | 副教授 | 苏州大学 |
| 5 | 徐勇 | 副教授 | 大连理工大学 |
| 6 | 戴忠玲 | 副教授 | 大连理工大学 |
| 7 | 叶超 | 副研究员 | 苏州大学 |
| 8 | 陆文琪 | 副教授 | 大连理工大学 |
| 9 | 周海洋 | 讲师 | 中国科学技术大学 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 频率匹配 | |
| 2 | 等离子体刻蚀 | |
| 3 | 多频放电 | |
| 4 | 低气压 | |
| 5 | 等离子体特性 |