| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 刘振宇 | 副研究员 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 2 | 尹小林 | 助理研究员 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 3 | 徐萌萌 | 研究实习员 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 4 | 魏海松 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | |
| 5 | 王晶 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | |
| 6 | 蔡志华 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 立式检测 | |
| 2 | 面形检测 | |
| 3 | 气流扰动 | |
| 4 | 长光路 | |
| 5 | 误差解耦 |
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