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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 黄凯 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 2 | 李文琴 | 大连理工大学 | |
| 3 | 周民 | 工程师 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 4 | 林家杰 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 5 | 伊艾伦 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 6 | 鄢有泉 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | |
| 7 | 周鸿燕 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 晶圆级 | |
| 2 | 硅基 | |
| 3 | 氧化镓 | |
| 4 | 单晶薄膜 | |
| 5 | 异质集成 | |
| 6 | 研究 |
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