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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 曹冰 | 副研究员 | 苏州大学 |
| 2 | 徐俞 | 研究实习员 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 3 | 胡晓剑 | 研究实习员 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 4 | 黄俊 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | |
| 5 | 苏旭军 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | |
| 6 | 刘宗亮 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | |
| 7 | 顾泓 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | |
| 8 | 邢贺 | 苏州大学 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 2英寸 | |
| 2 | AlN自支撑衬底 | |
| 3 | 生长 | |
| 4 | 应力控制 | |
| 5 | 缺陷控制 |
