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氮化铝单晶PVT同质外延生长工艺三维各向异性应力和位错模拟仿真技术开发及其实验研究

负责人员: wuliang

依托单位: 上海大学

浏览次数: 22

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61874071
氮化铝单晶PVT同质外延生长工艺三维各向异性应力和位错模拟仿真技术开发及其实验研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 张振强 上海大学
    2 李霞 上海大学
    3 赵寅廷 大连理工大学
    4 王琦琨 上海大学
    5 王智昊 上海大学
    6 贺广东 上海大学
    7 雷丹 上海大学
    8 黄嘉丽 上海大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 氮化铝
    2 单晶
    3 PVT同质外延
    4 生长工艺
    5 三维各向异性
    6 应力
    7 位错
    8 模拟仿真技术
    9 实验研究

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