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| 序号 | 标题 | 类型 | 作者 |
|---|
| 序号 | 姓名 | 职称 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 1 | 沈连婠 | 教授 | 中国科学技术大学 |
| 2 | 周洪军 | 高级工程师 | 中国科学技术大学 |
| 3 | 李晓光 | 中国科学技术大学 | |
| 4 | 伍梅 | 中国科学技术大学 | |
| 5 | 朱学林 | 中国科学技术大学 | |
| 6 | 胡新宁 | 中国科学技术大学 | |
| 7 | 李木军 | 中国科学技术大学 | |
| 8 | 沈连婠 | 教授 | 中国科学技术大学 |
| 9 | 周洪军 | 高级工程师 | 中国科学技术大学 |
| 10 | 李晓光 | 中国科学技术大学 | |
| 11 | 伍梅 | 中国科学技术大学 | |
| 12 | 朱学林 | 中国科学技术大学 | |
| 13 | 胡新宁 | 中国科学技术大学 | |
| 14 | 李木军 | 中国科学技术大学 |
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| 序号 | 关键词 | 操作 |
|---|---|---|
| 1 | 掩膜图形 | |
| 2 | 光刻 | |
| 3 | 计算机模拟 | |
| 4 | MEMS微结构 | |
| 5 | 仿真模型 |
