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基于压阻硅桥的新型MEMS气体传感器集成阵列研究

负责人员: 陈向东

依托单位: 西南交通大学

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61171050
基于压阻硅桥的新型MEMS气体传感器集成阵列研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 郭辉辉 讲师 西南科技大学
    2 李辉 西南交通大学
    3 毕雪 讲师 西南交通大学
    4 杜广涛 西南交通大学
    5 姚尧 西南交通大学
    6 李晓钰 西南交通大学
    7 谢宁宁 西南交通大学
    8 雷晗 西南交通大学
    9 王雄伟 西南交通大学
    10 郭辉辉 讲师 西南科技大学
    11 李辉 西南交通大学
    12 毕雪 讲师 西南交通大学
    13 杜广涛 西南交通大学
    14 姚尧 西南交通大学
    15 李晓钰 西南交通大学
    16 谢宁宁 西南交通大学
    17 雷晗 西南交通大学
    18 王雄伟 西南交通大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 硅桥
    2 石英晶体
    3 MEMS
    4 溶胀
    5 气体传感器
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