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基于微纳米加工技术的新型传感器微结构研究

负责人员: 郭建英

依托单位: 哈尔滨理工大学

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60272002
基于微纳米加工技术的新型传感器微结构研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 张洪泉 哈尔滨理工大学
    2 施云波 哈尔滨理工大学
    3 吴紫峰 研究员 信息产业部电子第四十九所
    4 高成臣 高级工程师 信息产业部电子第四十九所
    5 董新平 哈尔滨理工大学
    6 丁喜波 副教授 哈尔滨理工大学
    7 周真 副教授 哈尔滨理工大学
    8 王天荣 教授 哈尔滨理工大学
    9 王丽杰 讲师 哈尔滨理工大学
    10 张洪泉 哈尔滨理工大学
    11 施云波 哈尔滨理工大学
    12 吴紫峰 研究员 信息产业部电子第四十九所
    13 高成臣 高级工程师 信息产业部电子第四十九所
    14 董新平 哈尔滨理工大学
    15 丁喜波 副教授 哈尔滨理工大学
    16 周真 副教授 哈尔滨理工大学
    17 王天荣 教授 哈尔滨理工大学
    18 王丽杰 讲师 哈尔滨理工大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 电化学腐蚀.
    2 微机械加工.
    3 三氧化二铝薄膜
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