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大尺度下深纹纳米结构制造方法与机理表征

负责人员: 陈林森

依托单位: 苏州大学

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91023044
大尺度下深纹纳米结构制造方法与机理表征
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 沈雁 研究员 苏州大学
    2 申溯 副研究员 苏州大学
    3 李丰 研究员 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
    4 彭长四 助理研究员 中国科学院物理研究所
    5 王钦华 教授 苏州大学
    6 周小红 助理研究员 苏州大学
    7 周云 助理研究员 苏州大学
    8 魏国军 助理研究员 苏州大学
    9 张恒 助理研究员 苏州大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 干涉光刻
    2 柔性化
    3 大尺度纳米结构
    4 三维光场
    5 紫外激光
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