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新型衬底上高质量GaN单晶的HVPE生长及自剥离研究

负责人员: 郝霄鹏

依托单位: 山东大学

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51572153
新型衬底上高质量GaN单晶的HVPE生长及自剥离研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 邵永亮 山东大学
    2 戴元滨 山东大学
    3 田媛 山东大学
    4 孙长龙 山东大学
    5 赵刚 齐鲁工业大学
    6 霍勤 山东大学
    7 张保国 山东大学
    8 吕佳欣 山东大学
    9 李晨 山东大学
    10 邵永亮 山东大学
    11 戴元滨 山东大学
    12 田媛 山东大学
    13 孙长龙 山东大学
    14 赵刚 齐鲁工业大学
    15 霍勤 山东大学
    16 张保国 山东大学
    17 吕佳欣 山东大学
    18 李晨 山东大学
    19 邵永亮 山东大学
    20 戴元滨 山东大学
    21 田媛 山东大学
    22 孙长龙 山东大学
    23 赵刚 齐鲁工业大学
    24 霍勤 山东大学
    25 张保国 山东大学
    26 吕佳欣 山东大学
    27 李晨 山东大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 GaN晶体
    2 减薄-金属键合
    3 氢化物气相外延
    4 多孔衬底
    5 SiC
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