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电子聚焦电场增强等离子体离子注入/沉积基本理论研究

负责人员: 李刘合

依托单位: 北京航空航天大学

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11075012
电子聚焦电场增强等离子体离子注入/沉积基本理论研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 徐有涛 高级实验师 北京航空航天大学
    2 曲平 实验师 北京航空航天大学
    3 王卓 北京航空航天大学
    4 庞恩敬 北京航空航天大学
    5 梁波 北京航空航天大学
    6 何福顺 北京航空航天大学
    7 李芬 北京航空航天大学
    8 顿丹丹 北京航空航天大学
    9 杨海键 北京航空航天大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 离子注入
    2 离化
    3 particle
    4 cell
    5 电子聚焦
    6 in
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