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在硅衬底上Er2O3、Tm2O3高k介质材料的外延生长和物理特性研究

负责人员: 蒋最敏

依托单位: 复旦大学

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在硅衬底上Er2O3、Tm2O3高k介质材料的外延生长和物理特性研究
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序号 标题 类型 作者
    序号 姓名 职称 单位
    1 方泽波 复旦大学
    2 乐永康 副教授 复旦大学
    3 苏卫锋 讲师 复旦大学
    4 林健晖 复旦大学
    5 张红云 复旦大学
    6 聂天晓 复旦大学

    以下是从项目中提取的相关关键词,点击选题分析按钮快速进行关键词选题分析

    序号 关键词 操作
    1 高k介质材料
    2 表面与界面
    3 半导体异质结构
    4 异质外延生长机制
    5 分子束外延
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