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硅灰和晶硅废料协同氮化合成Si2N2O过程中包覆结构调控及杂质固化机理

52304417
2023
E.工程与材料科学部
金星
青年科学基金项目
安徽工业大学
30.00万元
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序号 关键词 操作
1 硅灰
2 晶硅废料
3 协同氮化
4 Si2N2O
5 包覆结构
6 杂质固化
7 机理

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