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音圈电机直驱的柔性解耦定位系统动力学特性与控制方法

51205279
2012
E0503.机械动力学
王福军
青年科学基金项目
天津大学
25.00万元
2013-01-01 至 2015-12-31
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序号 关键词 操作
1 动力学特性
2 显微视觉
3 微器件封装
4 精密定位
5 控制策略

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